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半导体行业滨贬80爱德华干泵维修.贰诲飞补谤诲蝉爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性能。

iH 系列真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产物的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。通常情况下在使用螺杆泵时，应定期的对螺杆泵进行检查，发现故障要及时维修。般螺杆泵检修主要有小修和大修之分，螺杆泵小修的检查周期用在6个月左右，大修的检查周期应在24个月。根据螺杆泵运行状况及状态监测结果可适当调整检修周期。

半导体行业滨贬80爱德华干泵维修前准备在检修螺杆泵前应做好以下准备工作。

①掌握运行情况，备齐必要的图纸资料。

②备齐检修工具、量具、配件及材料。

③切断电源及设备与系统联系，内部介质冷却、吹扫、置换干净，符合安全检修条件。

螺杆泵的拆卸与检查

拆卸螺杆泵时应按以下步骤进行。

①检查电动机电源；电源应断开，并将电源开关上锁。检查出、人口阀门关闭情况，若没有关闭，应关紧。

②松开电动机与泵轴之间的联轴器的连接螺栓，卸下联轴器。

③拆卸检查同步齿轮。

对于单螺杆泵或叁螺杆泵，拆卸泵后端盖，检查垫片、止推垫片、轴承、轴向定位塞。

对于双螺杆泵，拆卸泵后端盖，拆卸检查轴承及密封。

④拆卸前端盖，拆卸检查主、从动螺秆及密封。

⑤必要时更换端盖与泵体之间垫片。

半导体行业滨贬80爱德华干泵维修，超长保固期。

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