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Edwards爱德华MB 系列: (罗茨真空泵):MB 800、MB 1200, MB 2600、 MB 4200、MB 5700

Edwards爱德华HV 系列: (大型罗茨真空泵):HV8000、HV14000、HV30000

Edwards爱德华XDS 系列: (涡卷干式真空泵):XDS3、 XDS5、XDS10、XDS35、XDS46、XDS100

Edwards爱德华GV 系列: (大型工业干式真空泵--干式螺杆泵 ):GV80、 GV160、GV250、GV400、GV600

Edwards爱德华IQDP 系列: (半导体真空泵)：IQDP40、 IQDP80

Edwards爱德华IH 系列: (半导体真空泵):IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800

Edwards爱德华IXH 系列: (半导体真空泵):IXH100、IXH200、IXH200H, IXH500H, IXH500Q, IXH610、IXH645H, IXH1210, IXH1210H,IXH1220H

半导体行业爱德华滨贬80干泵维修，如机械密封发热：密封液管路堵塞；机械密封弹簧压缩量过大。解决方案是排除密封管路故障；减小弹簧压缩量。、机械密封大量漏油：装配位置不对；密封压盖未压平；动环或静环密封面碰伤；动环或静环密封圈损坏。解决方案是重新按要求安装；调整密封压盖；研磨密封面或更换新件；更换密封圈。

轴功率急剧增大：排出管路堵塞；螺杆与泵套严重摩擦；介质粘度太大；安装不正，转动部件不同心。解决方案是停泵清洗管路；检修或更换有关零件；将介质升温，降低黏度；调整校正装配和安装精度.

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